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安詩曼-精芯除濕·致凈生活環(huán)境溫度濕度系統(tǒng)化解決方案供應(yīng)商

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工業(yè)除濕機

基于MAU和DCC的半導(dǎo)體潔凈室恒溫恒濕控制系統(tǒng)和控制方法與流程

欄目:知識百科 編輯:CEO 來源:網(wǎng)絡(luò) 熱度:0 日期:2023-02-01
信息摘要:
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工技術(shù),尤其涉及一種基于mau和dcc的半導(dǎo)體潔凈室恒溫恒濕控制系統(tǒng)和控制方法。背景技術(shù):半導(dǎo)體技術(shù)產(chǎn)品生產(chǎn)工序困難、復(fù)雜,并且其工藝生產(chǎn)設(shè)備先進、昂貴,對于其制造環(huán)境的參數(shù),諸如、溫度、相對濕度、壓力、潔凈度

基于MAU和DCC的半導(dǎo)體潔凈室恒溫恒濕控制系統(tǒng)和控制方法與流程

基于MAU和DCC的半導(dǎo)體潔凈室恒溫恒濕控制系統(tǒng)和控制方法與流程

  本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工技術(shù),尤其涉及一種基于mau和dcc的半導(dǎo)體潔凈室恒溫恒濕控制系統(tǒng)和控制方法。

  背景技術(shù):

  半導(dǎo)體技術(shù)產(chǎn)品生產(chǎn)工序困難、復(fù)雜,并且其工藝生產(chǎn)設(shè)備先進、昂貴,對于其制造環(huán)境的參數(shù),諸如、溫度、相對濕度、壓力、潔凈度、氣流流型等參數(shù)的要求控制在某個恒定的范圍內(nèi),上述參數(shù)的穩(wěn)定則是生產(chǎn)設(shè)備正常運轉(zhuǎn)、高效率、高質(zhì)量半導(dǎo)體產(chǎn)品持續(xù)運營的成功保障。

  在上述參數(shù)控制中溫度、相對濕度參數(shù)的控制尤為困難,通常潔凈室要求溫度控制在23℃、相對濕度45%,并保證一定的控制精度,但實際上由于溫度、相對濕度之間存在一定的耦合現(xiàn)象,即在絕對含濕量不變的情況下,溫度升高、相對濕度減少,而溫度降低、相對濕度增加;基于此,在實施例中,采用以潔凈室要求的溫度、相對濕度計算出的露點溫度為目標(biāo)控制值,進而通過dcc干盤管實現(xiàn)溫度的控制,避免由于兩者耦合、過程精度控制不夠嚴(yán)格帶來處理過程中冷熱量相互抵消的現(xiàn)象,造成能源的極大浪費。因此,亟需一種適用于半導(dǎo)體潔凈室精確易控的恒溫恒濕系統(tǒng)義。

  技術(shù)實現(xiàn)要素:

  為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明的目的在于提供基于mau和dcc的半導(dǎo)體潔凈室恒溫恒濕控制系統(tǒng)和控制方法,其能解決上述問題。

  一種基于mau和dcc的半導(dǎo)體潔凈室恒溫恒濕控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)包括mau室外新風(fēng)濕度處理單元、dcc室內(nèi)回風(fēng)溫度處理單元以及中控單元,所述mau室外新風(fēng)濕度處理單元和dcc室內(nèi)回風(fēng)溫度處理單元與所述中控單元雙向電訊連接,其中mau室外新風(fēng)濕度處理單元包括依次設(shè)置的初效過濾段、前中效過濾段、預(yù)熱段、第一表冷段、加濕段、第二表冷段、再熱段、風(fēng)機段、后中效過濾段和高效過濾段,并在所述mau室外新風(fēng)濕度處理單元上設(shè)置焓值傳感器h、溫度傳感器t、壓差開關(guān)p和電動調(diào)節(jié)水閥v;dcc室內(nèi)回風(fēng)溫度處理單元包括dcc干盤管和電動調(diào)節(jié)水閥v;中控單元通過信號控制線與壓差開關(guān)p、溫濕度傳感器t、焓值傳感器h、電動調(diào)節(jié)水閥v通過信號控制線連接,并根據(jù)外接環(huán)境調(diào)節(jié)控制以向潔凈室輸送符合溫濕度需求空氣。

  優(yōu)選的,在mau室外新風(fēng)濕度處理單元的第一表冷段和加濕段之間設(shè)置所述焓值傳感器h。

  優(yōu)選的,在mau室外新風(fēng)濕度處理單元的第一表冷段和高效過濾段上設(shè)置溫濕度傳感器t。

  優(yōu)選的,在mau室外新風(fēng)濕度處理單元的初效過濾段和前中效過濾段之間、風(fēng)機段和后中效過濾段之間、以及后中效過濾段和高效過濾段之間設(shè)置壓差開關(guān)p。

  壓差開關(guān)p具有現(xiàn)場檢測和遠傳功能,實現(xiàn)對初中、高效過濾器的壓差檢測,為其更換提供基礎(chǔ)數(shù)據(jù)參考。

  優(yōu)選的,在mau室外新風(fēng)濕度處理單元的預(yù)熱段上設(shè)置第一電動調(diào)節(jié)水閥v1,在第一表冷段上設(shè)置第二電動調(diào)節(jié)水閥v2,在再熱段上設(shè)置第三電動調(diào)節(jié)水閥v3,在第二表冷段上設(shè)置第四電動調(diào)節(jié)水閥v4。

  優(yōu)選的,各電動調(diào)節(jié)水閥v采用具有線性調(diào)節(jié)特性的座閥調(diào)節(jié)閥。所述座閥調(diào)節(jié)閥具有線性調(diào)節(jié)特性、良好的調(diào)節(jié)能力和調(diào)節(jié)精度。

  優(yōu)選的,所述加濕段采用噴淋加濕方式實現(xiàn),噴淋加濕主機處于常開狀態(tài),在夏季及過渡季洗滌空氣,在冬季噴溫水且等焓加濕或增焓加濕。

  采用上述恒溫恒濕控制系統(tǒng)的控制方法,方法包括以下內(nèi)容。

  室內(nèi)參數(shù)動態(tài)監(jiān)測,中控單元與壓差開關(guān)p、溫濕度傳感器t、焓值傳感器h、電動調(diào)節(jié)水閥v通過信號控制線連接,以實時獲取潔凈室內(nèi)的溫度和相對濕度值。

  繪制焓濕圖,根據(jù)室內(nèi)溫濕度參數(shù)需求在焓濕圖上按照等焓線和等含濕量線劃分成四個氣象分區(qū)、即空調(diào)工況區(qū),其中空調(diào)工況i區(qū)為增溫加濕工況、空調(diào)工況ii區(qū)為冷卻加濕工況、空調(diào)工況iii區(qū)和空調(diào)工況iv區(qū)為冷卻除濕工況,且空調(diào)工況ii、iii、iv區(qū)均實現(xiàn)對空氣的洗滌??照{(diào)工況對應(yīng)不同外界環(huán)境實現(xiàn)室內(nèi)溫濕度需求控制;針對不同的氣象分區(qū)采用不同的空氣處理方式和控制方法,從而降低空調(diào)系統(tǒng)的運行能耗。

  mau空調(diào)箱以室內(nèi)需求的溫度、相對濕度計算得出的露點溫度為目標(biāo)值,根據(jù)空調(diào)工況對應(yīng)不同外接環(huán)境,對室外新風(fēng)參數(shù)進行控制,進而與經(jīng)過dcc處理的回風(fēng)進行混合,從而達到潔凈室要求的室內(nèi)溫濕度指標(biāo)。

  優(yōu)選的,當(dāng)外界環(huán)境空氣處于空調(diào)工況i區(qū)時,對室外空氣進行升溫加濕處理:關(guān)閉第一表冷段的第二電動調(diào)節(jié)水閥v2、再熱段上的第三電動調(diào)節(jié)水閥v3,打開預(yù)熱段上的第一電動調(diào)節(jié)水閥v1、加濕段處溫水噴淋加濕主機,根據(jù)加濕段前的焓值傳感器h的焓值控制預(yù)熱段上第一電動調(diào)節(jié)水閥v1的開度,通過高效過濾段下游出風(fēng)段的溫濕度傳感器t溫度設(shè)定值控制再熱段處第三電動調(diào)節(jié)v3的開度,進而使達到目標(biāo)參數(shù)的新風(fēng)送至潔凈室回風(fēng)夾道底部時與經(jīng)dcc干盤管處理后的回風(fēng)均勻混合送至潔凈室。

  優(yōu)選的,當(dāng)外界環(huán)境空氣處于空調(diào)工況ii區(qū)時,對室外空氣進行冷卻加濕處理:關(guān)閉預(yù)熱段上的第一電動調(diào)節(jié)水閥v1,打開第一表冷段的第二電動調(diào)節(jié)水閥v2以及加濕段處的噴淋加濕主機,根加濕段前的焓值傳感器h的焓值控制第一表冷段的第二電動調(diào)節(jié)水閥v2的開度,避免開度過小、呈現(xiàn)空氣過熱的現(xiàn)象,導(dǎo)致室外新風(fēng)經(jīng)過噴淋加濕后出現(xiàn)過濕的現(xiàn)象(以期經(jīng)過噴淋加濕后空氣的露點溫度達到目標(biāo)值),尚需再進行冷卻除濕處理,造成能源的極度浪費;進而通過高效過濾段下游出風(fēng)段的溫濕度傳感器t溫度設(shè)定值控制再熱段處第三電動調(diào)節(jié)v3的開度,進而使達到目標(biāo)參數(shù)的新風(fēng)送至潔凈室回風(fēng)夾道底部時與經(jīng)dcc干盤管處理后的回風(fēng)均勻混合送至潔凈室。

  優(yōu)選的,當(dāng)外界環(huán)境空氣處在空調(diào)工況iii區(qū)和空調(diào)工況iv區(qū)時,對室外空氣需進行冷卻除濕處理:關(guān)閉預(yù)熱段的第一電動調(diào)節(jié)水閥v1,打開第一表冷段的第二電動調(diào)節(jié)水閥v2、第二表冷段上的第四電動調(diào)節(jié)水閥v4、以及加濕段處的噴淋加濕主機,根據(jù)第一表冷段處表冷盤管后的設(shè)定溫度調(diào)整第二電動調(diào)節(jié)水閥v2的開度,利用中溫冷凍水降低被處理空氣的溫度、含濕量,再通過加濕段處噴淋室對空氣的洗滌、凈化,根據(jù)送風(fēng)露點調(diào)節(jié)內(nèi)有低溫冷凍水的第二表冷段處第四電動調(diào)節(jié)水閥v4開度,進而使達到目標(biāo)參數(shù)的新風(fēng)送至潔凈室回風(fēng)夾道底部時與經(jīng)dcc干盤管處理后的回風(fēng)均勻混合送至潔凈室。

  優(yōu)選的,室內(nèi)溫濕度需求控制全年以送風(fēng)露點值作為控制目標(biāo)值表征的濕度進行優(yōu)先控制,其中,送風(fēng)露點的確定和修正公式為:

  其中:td為室外空氣在t溫度下、f相對濕度下的露點溫度;

  e=es*f*0.01,e為t℃空氣在f%相對濕度下的水蒸氣壓力pa,es為t℃空氣在水面t>0℃或冰面t≤0℃的飽和水蒸氣壓力pa;

  e0為0℃空氣的飽和水蒸氣的分壓力,a、b為系數(shù),t>0℃時,取水面值a=7.5、b=237.3;t≤0℃時,取水面值a=9.5、b=265.5。

  相比現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明的有益效果在于:控制系統(tǒng)通過設(shè)置不同的傳感器和調(diào)節(jié)閥進行信號實時采集和控制,mau空調(diào)箱以室內(nèi)需求的溫度、相對濕度計算得出的露點溫度為目標(biāo)值對室外新風(fēng)參數(shù)進行精準(zhǔn)控制,進而與經(jīng)過dcc處理的回風(fēng)進行混合,從而達到潔凈室要求的溫濕度指標(biāo);系統(tǒng)和方法具有較高的控制精度和節(jié)能性、控制邏輯清晰、工程項目的實用性強,能夠很好的解決半導(dǎo)體潔凈室經(jīng)常出現(xiàn)的控制精度不夠而產(chǎn)生的冷熱抵消問題。

  附圖說明

  圖1為本發(fā)明實施例中mau室外新風(fēng)濕度處理單元結(jié)構(gòu)圖;

  圖2為本發(fā)明涉及實施例中室外新風(fēng)在焓濕圖上空調(diào)分區(qū)示意圖。

  圖中:1、初效過濾段;2、前中效過濾段;3、預(yù)熱段;4、第一表冷段;5、加濕段;6、第二表冷段;7、再熱段;8、風(fēng)機段;9、后中效過濾段;10、高效過濾段;v1/v2/v3/v4、電動調(diào)節(jié)水閥;p、壓差開關(guān);t、溫濕度傳感器;h、焓值傳感器。

  具體實施方式

  為使本發(fā)明實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚,下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發(fā)明的一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒景l(fā)明中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。

  一種基于mau和dcc的半導(dǎo)體潔凈室恒溫恒濕控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)包括mau室外新風(fēng)濕度處理單元、dcc室內(nèi)回風(fēng)溫度處理單元以及中控單元,所述mau室外新風(fēng)濕度處理單元和dcc室內(nèi)回風(fēng)溫度處理單元與所述中控單元雙向電訊連接。

  參見圖1,其中mau室外新風(fēng)濕度處理單元包括依次設(shè)置的初效過濾段1、前中效過濾段2、預(yù)熱段3、第一表冷段4、加濕段5、第二表冷段6、再熱段7、風(fēng)機段8、后中效過濾段9和高效過濾段10,初效過濾段1的前端或上游為進風(fēng)段,高效過濾段10的后端或下游為出風(fēng)段,圖中箭頭表述氣流方向。

  進一步的,在所述mau室外新風(fēng)濕度處理單元上設(shè)置焓值傳感器h、溫度傳感器t、壓差開關(guān)p和電動調(diào)節(jié)水閥v。

  圖未示的,dcc室內(nèi)回風(fēng)溫度處理單元包括dcc干盤管和電動調(diào)節(jié)水閥v。

  參見圖1,一個實施例中,在mau室外新風(fēng)濕度處理單元的預(yù)熱段3上設(shè)置第一電動調(diào)節(jié)水閥v1,在第一表冷段4上設(shè)置第二電動調(diào)節(jié)水閥v2,在再熱段7上設(shè)置第三電動調(diào)節(jié)水閥v3,在第二表冷段6上設(shè)置第四電動調(diào)節(jié)水閥v4。

  具體實施例中,各電動調(diào)節(jié)水閥v采用但不限于具有線性調(diào)節(jié)特性的座閥調(diào)節(jié)閥。所述座閥調(diào)節(jié)閥具有線性調(diào)節(jié)特性、良好的調(diào)節(jié)能力和調(diào)節(jié)精度。

  中控單元通過信號控制線與壓差開關(guān)p、溫濕度傳感器t、焓值傳感器h、電動調(diào)節(jié)水閥v通過信號控制線連接,并根據(jù)外接環(huán)境調(diào)節(jié)控制以向潔凈室輸送符合溫濕度需求空氣。

  其中,在mau室外新風(fēng)濕度處理單元的第一表冷段4和加濕段5之間設(shè)置所述焓值傳感器h,在冬季實現(xiàn)精準(zhǔn)的焓值控制,避免預(yù)熱段3處第一電動調(diào)節(jié)水閥v1開度過大導(dǎo)致空氣過熱。在mau室外新風(fēng)濕度處理單元的第一表冷段4和高效過濾段10上設(shè)置溫濕度傳感器t,通過溫濕度傳感器t的數(shù)據(jù)采集,在冬季,mau空調(diào)箱停止運行時,防止盤管凍裂;在其他季節(jié)實現(xiàn)對表冷盤管處第二電動調(diào)節(jié)水閥v2的調(diào)節(jié)。在mau室外新風(fēng)濕度處理單元的初效過濾段1和前中效過濾段2之間、風(fēng)機段8和后中效過濾段9之間、以及后中效過濾段9和高效過濾段10之間設(shè)置壓差開關(guān)p。

  其中,壓差開關(guān)p具有現(xiàn)場檢測和遠傳功能,實現(xiàn)對初中、高效過濾器的壓差檢測,為其更換提供基礎(chǔ)數(shù)據(jù)參考。

  進一步的,加濕段5采用噴淋加濕方式實現(xiàn),噴淋加濕主機處于常開狀態(tài),在夏季及過渡季洗滌空氣,在冬季噴溫水且等焓加濕或增焓加濕。

  采用上述恒溫恒濕控制系統(tǒng)的控制方法,方法包括以下內(nèi)容。

  室內(nèi)參數(shù)動態(tài)監(jiān)測,中控單元與壓差開關(guān)p、溫濕度傳感器t、焓值傳感器h、電動調(diào)節(jié)水閥v通過信號控制線連接,以實時獲取潔凈室內(nèi)的溫度和相對濕度值。

  繪制焓濕圖,參見圖2,根據(jù)室內(nèi)溫濕度參數(shù)需求在焓濕圖上按照等焓線和等含濕量線劃分成四個氣象分區(qū)、即空調(diào)工況區(qū),其中空調(diào)工況i區(qū)為增溫加濕工況、空調(diào)工況ii區(qū)為冷卻加濕工況、空調(diào)工況iii區(qū)和空調(diào)工況iv區(qū)為冷卻除濕工況,空調(diào)工況對應(yīng)不同外界環(huán)境實現(xiàn)室內(nèi)溫濕度需求控制;適宜的分區(qū)即避免了分區(qū)過多造成傳感器等數(shù)據(jù)采集設(shè)備的增加帶來初投資的增加、又避免了分區(qū)過少而出現(xiàn)冷熱抵消的現(xiàn)象。

  其中,等焓線作為冬夏季轉(zhuǎn)換的分界線,等含濕量線作為噴淋加濕、洗滌空氣的分界線。

  針對不同的氣象分區(qū)采用不同的空氣處理方式和控制方法,從而降低空調(diào)系統(tǒng)的運行能耗。

  mau空調(diào)箱以室內(nèi)需求的溫度、相對濕度計算得出的露點溫度為目標(biāo)值,根據(jù)空調(diào)工況對應(yīng)不同外接環(huán)境,對室外新風(fēng)參數(shù)進行控制,進而與經(jīng)過dcc處理的回風(fēng)進行混合,從而達到潔凈室要求的室內(nèi)溫濕度指標(biāo)。

  具體的,當(dāng)外界環(huán)境空氣處于空調(diào)工況i區(qū)時,對室外空氣進行升溫加濕處理:關(guān)閉第一表冷段4的第二電動調(diào)節(jié)水閥v2、再熱段7上的第三電動調(diào)節(jié)水閥v3,打開預(yù)熱段3上的第一電動調(diào)節(jié)水閥v1、加濕段5處溫水噴淋加濕主機,根據(jù)加濕段5前的焓值傳感器h的焓值控制預(yù)熱段3上第一電動調(diào)節(jié)水閥v1的開度,通過高效過濾段10下游出風(fēng)段的溫濕度傳感器t溫度設(shè)定值控制再熱段7處第三電動調(diào)節(jié)v3的開度,進而使達到目標(biāo)參數(shù)的新風(fēng)送至潔凈室回風(fēng)夾道底部時與經(jīng)dcc干盤管處理后的回風(fēng)均勻混合送至潔凈室。

  當(dāng)外界環(huán)境空氣處于空調(diào)工況ii區(qū)時,對室外空氣進行冷卻加濕處理:關(guān)閉預(yù)熱段3上的第一電動調(diào)節(jié)水閥v1,打開第一表冷段4的第二電動調(diào)節(jié)水閥v2以及加濕段5處的噴淋加濕主機,根加濕段5前的焓值傳感器h的焓值控制第一表冷段4的第二電動調(diào)節(jié)水閥v2的開度,避免開度過小、呈現(xiàn)空氣過熱的現(xiàn)象,導(dǎo)致室外新風(fēng)經(jīng)過噴淋加濕后出現(xiàn)過濕的現(xiàn)象(以期經(jīng)過噴淋加濕后空氣的露點溫度達到目標(biāo)值),尚需再進行冷卻除濕處理,造成能源的極度浪費;進而通過高效過濾段10下游出風(fēng)段的溫濕度傳感器t溫度設(shè)定值控制再熱段7處第三電動調(diào)節(jié)v3的開度,進而使達到目標(biāo)參數(shù)的新風(fēng)送至潔凈室回風(fēng)夾道底部時與經(jīng)dcc干盤管處理后的回風(fēng)均勻混合送至潔凈室。

  當(dāng)外界環(huán)境空氣處在空調(diào)工況iii區(qū)和空調(diào)工況iv區(qū)時,對室外空氣需進行冷卻除濕處理:關(guān)閉預(yù)熱段3的第一電動調(diào)節(jié)水閥v1,打開第一表冷段4的第二電動調(diào)節(jié)水閥v2、第二表冷段6上的第四電動調(diào)節(jié)水閥v4、以及加濕段5處的噴淋加濕主機,根據(jù)第一表冷段4處表冷盤管后的設(shè)定溫度設(shè)定,優(yōu)選為16-18℃,調(diào)整第二電動調(diào)節(jié)水閥v2的開度,利用中溫冷凍水降低被處理空氣的溫度、含濕量,再通過加濕段5處噴淋室對空氣的洗滌、凈化,根據(jù)送風(fēng)露點調(diào)節(jié)內(nèi)有低溫冷凍水的第二表冷段6處第四電動調(diào)節(jié)水閥v4開度,進而使達到目標(biāo)參數(shù)的新風(fēng)送至潔凈室回風(fēng)夾道底部時與經(jīng)dcc干盤管處理后的回風(fēng)均勻混合送至潔凈室。

  進一步的,室內(nèi)溫濕度需求控制全年以送風(fēng)露點值作為控制目標(biāo)值表征的濕度進行優(yōu)先控制,其中,送風(fēng)露點的確定和修正公式為:

  其中:td為室外空氣在t溫度下、f相對濕度下的露點溫度;

  e=es*f*0.01,e為t℃空氣在f%相對濕度下的水蒸氣壓力pa,es為t℃空氣在水面t>0℃或冰面t≤0℃的飽和水蒸氣壓力pa;

  e0為0℃空氣的飽和水蒸氣的分壓力,a、b為系數(shù),t>0℃時,取水面值a=7.5、b=237.3;t≤0℃時,取水面值a=9.5、b=265.5。

  其中,溫冷凍水的能效要低于中溫冷凍水的能效,因此通過ai算法和控制策略的調(diào)整可以最大程度的實現(xiàn)空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能。

  進一步的,噴淋加濕主機常年開啟,在冬季實現(xiàn)等焓(增焓)加濕的功能、其余季節(jié)實現(xiàn)洗滌空氣的作用。

  最后應(yīng)說明的是:以上實施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案,而非對其限制;盡管參照前述實施例對本發(fā)明進行了詳細的說明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改,或者對其中部分技術(shù)特征進行等同替換;而這些修改或者替換,并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實施例技術(shù)方案的精神和范圍。

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基于51單片機智能農(nóng)業(yè)大棚恒溫恒濕Proteus仿真(源碼+仿真+全套資料)

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